РусскийEnglish
Отдел 150

Приставка для электронной литографии Raith ELPHY PLUS

Подсоединена к сканирующему электронному микроскопу SUPRA 50 VP. Позволяет проводить экспонирование электронным пучком поверхности образцов с нанесенным резистом по виртуальному шаблону, заложенному в управляющий компьютер, что позволяет после проявления получать резистивные маски различной топологии с размерами, которые определяются свойствами резистов.

Снимки магнитных структур, изготовленных с использованием электронной литографии


© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия