РусскийEnglish
Отдел 150
ИФМ РАН / Структура / Научные подразделения / Отдел 150 / Оборудование / Ионно-плазменный комплекс «Аврора»

Ионно-плазменный комплекс для нанесения и обработки тонкопленочных структур «Аврора»

Установка предназначена для изготовления следующих структур:

  • одно и многослойных структур, состоящих из диэлектрических и металлических пленок, включая антиферромагнитные, ферромагнитные, сверхпроводящие пленки на Si и других подложках;
  • реактивное напыление диэлектрических и металлических слоев в атмосфере различных газов;
  • формирование туннельнопрозрачных диэлектрических слоев, в том числе MgO и Al2O3 (распыление с диэлектрических мишеней MgO и Al2O3).

© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия