РусскийEnglish
Отдел 140
ИФМ РАН / Структура / Научные подразделения / Отдел 140 / Результаты / Магнетронное напыление пленок YBCO

Технология магнетронного напыления пленок YBCO

Разработана технология и изготовлена установка магнетронного напыления пленок YBCO из многокомпонентной мишени, позволяющая получать сверхпроводящие пленки на обеих сторонах подложки. По такой технологии созданы элементы сверхпроводниковой электроники: планарные высокодобротные фильтры мегагерцового диапазона с добротностью более 2×105 (77 К); полосовые фильтры 4-го порядка на частоту 3 ГГц с полосой пропускания 1%; дисковые резонаторы на частоту 10 ГГц с добротностью более 2×104 (77 К).

Четырехзвенный микрополосковый фильтр на основе пленок YBa2Cu3O7и его амплитудно-частотные характеристики.


© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия