РусскийEnglish
Отдел 140
ИФМ РАН / Структура / Научные подразделения / Отдел 140 / Результаты / Технология получения германия

Технология получения германия в плазменном разряде

Разработана лабораторная технология получения германия в плазменном разряде смеси SiF4 или GeF4 и водорода кремния и водорода. Впервые в одноступенчатом процессе из изотопно-обогащенных фторидов получены: слои нанокристаллического кремния с содержанием изотопа 28Si более 99,95% и германия с содержанием изотопа 74Ge — 86% и 72Ge — 50%. Эффективность конверсии фторидов в порошки достигает 56% для Si и более 75% для Ge, что позволило вырастить методом Чохральского образцы поликристаллического Si и монокристаллов изотопа 74Ge с обогащением 83%.


© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия