РусскийEnglish
Отдел 140

Оборудование отдела 140

Эпитаксия полупроводниковых гетероструктур на основе In, Ga, Al — As, N

  • установка МОГФЭ Epiquip VP 502-RT.

Диагностика и исследование гетероструктур

Рентгеноструктурный анализ

  • дифрактометр рентгеновский общего назначения ДРОН - 4, модифицированный;
  • дифрактометр рентгеновский Bruker D8 Discover.

Аналитический анализ

  • масс-спектрометр вторичных ионов TOF. SIMS 5;
  • фурье-спектрометр Infralum FT-801.

Зондовая микроскопия

  • микроскоп сканирующий зондовый Solver P4;
  • микроскоп сканирующий зондовый «СММ-2000".

Электрофизические исследования микроструктур

  • автоматизированный комплекс для измерения I-V и C-V характеристик;
  • характериограф 4832;
  • СВЧ зондовая установка PM-5.

Фотоэлектрические исследования

  • фурье-спектрометр Infralum FT-801;
  • монохроматор МДР-41.

Исследование поверхности

  • оптическая измерительная система Talysurf CCI 2000;
  • профилометр модели 130.

Микро- и наноэлектроника

  • установки для напыления (металлов, диэлектриков, сверхпроводников, органических полупроводников);
  • установка для быстрого отжига полупроводниковых структур AcuThermo AW 410 System;
  • установка экспонирования контактной фотолитографии SUSS MJB4;
  • установка плазмохимического травления PlasmaLab 80Plus с источником ICP;
  • установка плазмохимического травления Secon XPL-26.

© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия