РусскийEnglish
ИФМ РАН / Структура / Сотрудники / Салащенко Николай Николаевич

Салащенко Николай Николаевич

salashch.JPG

Заведующий отделом ИФМ РАН, главный научный сотрудник, доктор физико-математических наук, член-корреспондент РАН.

Персональные данные

Родился 1 ноября 1941 года в г. Уссурийск Приморского края.

Научные интересы

Физика и технология многослойной «рентгеновской оптики»; применение многослойной оптики в физических экспериментах и научном приборостроении.

Сфера научной деятельности включает оптимизацию многослойных структур для рентгеновской оптики и развитие методов их диагностики; изучение физических процессов в многослойных структурах на основе сверхтонких металлических слоев; развитие технологии изготовления элементов рентгенооптики; разработку стендов для диагностики МСС, для контроля и коррекции формы поверхности рентгенооптических элементов с субнанометровой точностью, проекционной рентгеновской нанолитографии и рентгеновской микроскопии.

Награды

  • Лауреат Государственной премии СССР (1991 г.),
  • Лауреат премии им. А. Г. Столетова РАН (2008 г.).

Другие сведения

Член Ученого совета ИФМ РАН, член специализированных Советов по защите диссертаций ИФМ РАН и ННГУ (физический факультет), член редколлегии журнала Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. Является одним из руководителей «Научной школы Создание физических основ нанесения метастабильных многослойных и нанокластерных пленочных структур, исследование их свойств«

Некоторые публикации

  • С.В. Гапонов, Н. Н. Салащенко, Я. И. Ханин. Повышение равномерности пространственного распределения излучения ОКГ. // Квантовая электроника, № 7, 1972, с. 48−53.
  • З.П. Бекетова, С. В. Гапонов, Б. С. Каверин, Б. А. Нестеров, Н. Н. Салащенко. О возможности получения сверхтонких сплошных монокристаллических пленок помощью лазера. // Изв. ВУЗов, Радиофизика, № 6, 1975, с. 908−909.
  • Б.Н.Звонков, И. А. Карпович, Н. Н. Салащенко, О. Н. Филатов. Квантовый размерный эффект в тонких пленках теллурида свинца. //ФТТ, № 12, 1975, с. 3641−3642.
  • С.В.Гапонов, Н. Н. Салащенко. Вакуумное напыление с помощью импульсных лазеров. // Электронная промышленность № 1,1976, с.11−20.
  • С.В.Гапонов, Б. М. Лускин. Б. А. Нестеров, Н. Н. Салащенко. Низкотемпературная эпитаксия пленок, конденсированных из лазерной плазмы.// Письма в ЖТФ, в.12, 1977, с.573−576.
  • Н.Н.Салащенко, Б. Н. Звонков, О. Н. Филатов. Размерное квантование Еo— и Е1-краев поглощения InSb. // ФТТ, № 5, 1979, т.21, с.1344−1348.
  • С.В.Гапонов, Б. М. Лускин, Н. Н. Салащенко. О возможности получения структур со сверхрешеткой методом лазерного напыления. // Письма в ЖТФ, в.9, 1979, т.5, с.516−521.
  • Н.Н.Салащенко, О. Н. Филатов. Исследование структуры валентной зoны сульфида и селенида свинца по эффектам размерного квантования. // ФТП, № 9, 1979, т.13, с.1748−1751.
  • С.В.Гапонов, Б. М. Лускин, Н. Н. Салащенко. Сверхрешетки на основе InSb-CdTe, InSb— PbTe, Bi-CdTe. // ФТП, № 8, т.14,1980, с.1468−1472.
  • С.В.Гапонов, С. А. Гусев, Е. С. Глускин, Б. М. Лускин, Н. Н. Салащенко. Зеркала для длинноволнового рентгеновского излучения. // Письма в ЖТФ, в.20, т.6, 1980, с.1413−1415.
  • С.В.Гапонов, Б. М. Лускин, Н. Н. Салащенко. Сверхрешетки с неориентированными барьерными слоями.// Письма в ЖЭТФ, т.33, в.10, 1981, с.533−537.
  • S.V.Gaponov, B. M. Luskin, N. N. Salashchenko. Homoepitaxialsuperlatticeswithnonorientedbarrierlayers. // Solid State Communication, v.39. 1981, p.301−302.
  • S.V.Gaponov, S. A. Gusev, E. S. Gluskin, B. M. Luskin, N. N. Salashchenko. Longwavex-rayradiationmirrors. // Optics Communication, v.38/1, p. 7 (566), 1981.
  • Н.А.Бабаев, В. С. Багаев, С. В. Гапонов, Б. Д. Копыловский, Н. Н. Салащенко, В. Б. Стопачинский. Размерное квантование в тонких пленках теллурида кадмия. // Письма в ЖЭТФ, т.37, в.11,1983, с.524−527.
  • S.V.Gaponov, E. S. Gluskin, S. A. Gusev, Yu. Ya.Platonov, N. N. Salashchenko. Spherical and plane multilayer normal incidence mirrors for soft x-rays. // Optics commun., v.48, № 4, 1983, p.229−232.
  • Н.А.Бабаев, В. С. Багаев, Ф. В. Гарин, А. В. Кочемасов, Л. В. Парамонов, А. Г. Поярков, Н. Н. Салащенко, В. Б. Стопачинский. Размерное квантование экситонов в СdТе. // Письма в ЖЭТФ, т.40, в.5, 1984, с.190−193.
  • С.В.Гапонов, В. М. Генкин, Н. Н. Салащенко, А. А. Фраерман. Рассеяние нейтронного и рентгеновского излучения в диапазоне 10−300 Å на периодических структурах с шероховатыми границами. // Письма в ЖЭТФ, т.41, в.2, 1985, с.53−55.
  • В.В.Аристов, С. В. Гапонов, В. М. Генкин, Ю. А. Горбатов, А. И. Ерко, В. В. Мартынов, Н. Н. Салащенко, А. А. Фраерман. Фокусирующие свойства профилированных многослойных рентгеновских зеркал. // Письма в ЖЭТФ, т.44, 1986, с.207−209.
  • E.S.Gluskin, S. V. Gaponov, P. Dehz, P. P.Il'insky, N. N. Salashchenko. Apolarimeterforsoftx-rayandVUVradiation. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A246,№ 1−3, 1986, р.394−396.
  • С.В.Бобашев, И. Г. Забродин, Ю. Я. Платонов, Д. М. Симановский, Н. Н. Салащенко, Л. А. Шмаенок. Измерение спектральных характеристик многослойных рентгеновских зеркал с использованием излучения рекомбинирующей лазерной плазмы бериллия в дальней зоне разлета.// Письма в ЖТФ, т.12, в.21, 1986, с.1339−1343.
  • С.А.Гусев, В. В. Дубров, И. А. Житник, В. А. Слемзин, Н. Н. Салащенко. Многослойные сферические зеркала нормального падения для ультрамягкой рентгеновской области спектра. // Письма в ЖТФ, 1987, т.13, в.14, с.887−892.
  • A.D.Akhsakhalyan, S. V. Gaponov, S. A. Gusev, Yu. Ya.Platonov, N. N. Salashchenko, N. I. Polushkin. Multilayerx-raymirrorsforthewavelengthrange 25−44A. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A261, 1987, p.75−77.
  • A.A.Fraerman, S. V. Gaponov, V. M. Genkin, N. N. Salashchenko. The effect of the interfacial roughness on the reflection properties of multilayer x-ray mirrors. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A261,1987, p.91−98.
  • В.Л.Арцимович, С. В. Гапонов, Ю. С. Касьянов, Б. М. Лускин, Н. Н. Салащенко, И. И. Собельман, А. П. Шевелько. Формирование направленного интенсивного ВУФ излучения из лазерной плазмы. // Письма в ЖЭТФ, т.46, в.8, 1987, с.311−314.
  • Ю.Я.Платонов, Н. И. Полушкин, Н. Н. Салащенко, А. А. Фраерман. Рентгенооптические исследования характеристик многослойных структур. //ЖТФ, т.57. № 11, 1987, с.2192−2199.
  • А.Д.Ахсахалян, С. И. Желудева, М. В. Ковальчук Ю. Я.Платонов, Н. Н. Салащенко. Стоячие рентгеновские волны в многослойных синтетических структурах. //Письма в ЖТФ, т.15, в.20, 1989, с.49−54.
  • И.А.Житник, А. П. Игнатьев, В. В. Корнеев, Н. Н. Салащенко и др. Рентгеновский телескоп «Терек» для исследования Солнца по проекту «Фобос». // Труды Ф. И. АН, Спектры атомов и ионов и элементарные процессы в плазме. т.195, 1989, с.19−46.
  • И.И.Собельман Н. Н. Салащенко, И. А. Житник, и др. Изображения Солнца, полученные рентгеновским телескопом Терек на КА «Фобос-1». //Письма в Астрономический журнал, т.16, № 4,1990, с.323−329.
  • А.И.Чумаков, Г. В. Смирнов, С. С. Андреев, Н. Н. Салащенко, С. И. Шинкарев. Дифракция ядерного g-излучения на многослойной синтетической структуре.// Письма в ЖЭТФ, т.54, в.4, с.220−223, 1991.
  • Ю.Я.Платонов, Л. А. Шмаенок, Н. Н. Салащенко. Исследование спектра излучения и изображение лазерной плазмы с помощью многослойной рентгеновской оптики. //Изв. АН СССР, сер. физическая, т.55, в.7, с.1322−1332, 1991.
  • A.D.Akhsakhalyan, A. A. Fraerman, Yu. Ya.Platonov, N. I. Polushkin, N. N. Salaschenko. Diffusion in the multilayer structures of metal-carbon super thin films. //Thin Solid Films, 207 (1992), 19−23.
  • S.I.Zheludeva, M. V.Koval'chuk, N. N. Novikova, A. D. Akhsakhalyan, Yu. Ya.Platonov, N. N. Salashchenko. Thickness and density determination of ultrathin solid films complising multilayer X-ray mirrors by x-ray reflection and fluorescence study. //Rev. Sci. Instr., 1992, v. 63 (1), p.1519−1522.
  • S.A.Akhmanov, I. M. Bayanov, S. V. Gaponov, Yu. Ya.Platonov, Yu. V.Ponomarev, A. B.Savel'ev, N. N. Salashchenko. Focusing of picosecound X-ray pulses on the target a power density up to 1 GW/cm2. //Proceed. SPIE, v. 1800, (1992), p.138−145.
  • S.V.Bobashev, A. D. Mosesyan, Yu. Ya.Platonov, N. N. Salashcenko, D. M. Simanovsky, A. A. Sorokin, L. A.Shmaenok. Intensive laser plasma source of quasimonochromatized soft X-ray radiation with focusing miltilayer mirrors // Proceed. SPIE, v.1800, p.164−175 (1992).
  • А.И.Чумаков, Г. В. Смирнов, С. С. Андреев, Н. Н. Салащенко, С. И. Шинкарев. Чисто-ядерная дифракция g-излучения в резонансном многослойном зеркале. //Письма в ЖЭТФ, 55, (1992), с.495−499. (IETR Lett., 55 (1992) p.509−515).
  • A.L.Chumakov, G. V. Smirnov, J. Arthur, S. L. Rude, D. E. Brown, A. Q. R. Raron, G. S. Rroun, N. N. Salashchenko. Resonant Diffraction of Synchrotron Radiation by a Nuclear multilayer. //Phys. Rev. Lett., v.71, № 15, 1993, p.2489−2492.
  • S.I. Zheludeva, M. V. Kovalchyk, N. N. Novikova, A. N. Sosphenov, N. E. Malysheva, N. N. Salashchenko, A. D. Akhsakhalyan, Yu. Ya. Platonov. New modification of XRSW a both the surface of layered substrate under total external reflection conditions for structure characterization of organic layers. // Thin Solid Films, 1993, V.232, p.252−256.
  • Н.И.Полушкин, Н. Н. Салащенко Искусственные магнитные частицы в модулированной по составу среде Fe1-xCx (x<> //ФТТ, т.35, № 3, 1993, с.592−597.
  • N.I.Polushkin, N. N. Salashchenko. Magnetic behavior modification of Fe/С composition-modulated films under the short pulsed heat action. // Magn. Mater., 124 (1993), p.347−354.
  • A.D.Akhsakhalyan, N. N. Kolachevsky, M. M. Mitropolsky, E. M. Ragozin, N. N. Salashchenko, V. A. Slemzin. Fabrication and Investigation of imaging Normal-Incidennce Multilayer Mirrors with a Narrov-Band Reflection in the Range 4,5nm.// Phisica Scripta, Vol.48, 566−570, 1993.
  • A. Slemzin, I. A. Zhitnik, E. N. Ragozin, A. A. Andreev, N. N. Salashchenko, Yu. Ya. Platonov. Aspherical imaging multilayer mirrors with sub-areseconnd resolution for solar XUV-telescope. // SPIE Proc., V.2279, 1994, p. 234.
  • А.Д.Ахсахалян, С. В. Гапонов, И. А. Дорофеев, С. В. Пестерев, Н. И. Полушкин, Н. Н. Салащенко, М. И. Токман. Нанометровая модификация многослойной структуры с помощью туннельного микроскопа. //ЖТФ, т.64, в.4, 144−155, 1994.
  • N.N.Salashchenko, Yu. Ya. Platonov, S. Yu. Zuev. Multilayer x-ray optics for synchrotron radiation. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. 1995, A359, p.114−120.
  • С.В.Бобашев, А. В. Голубев, Д. А. Мосесян, Ю. Я. Платонов, Н. Н. Салащенко, Д. М. Симановский, А. А. Сорокин, Л. А. Шмаенок. Фокусировка мягкого рентгеновского излучения лазерно-плазменного источника с помощью многослойных рентгеновских зеркал. //ЖТФ, 1995, Т.65, в.10, с.62−73.
  • S.I.Zheludeva, M. V. Kovalchuk, N. N. Novikova, A. N. Sosphenov, N. E. Malysheva, N. N. Salashchenko, A. D. Akhsakhalyan, Yu. Ya.Platonov, R. I. Cernik, S. R. Colluns. New method of ultra-thin film characterization applied to the investigation of C/Ni/C structures under heat load. //Thin Solid Films, 1995, v.529, p. 131−138.
  • И.И.Собельман, Э. А. Аветисян, И. А. Житник, А. П. Игнатьев, В. В. Корнеев, В. В. Крутов, Н. Н. Салащенко, С. В. Кузин, В. М. Ломкова, А. ВМитрофанов, С. П. Опарин, А. А. Перцов, В. А. Слемзин, В. Ф. Суханов, И. П. Тиндо, Ю. В. Фотин Рентгеновская спектроскопия солнца в диапазоне 0.84−30.4 нм в экспериментах ТЕРЕК-К и РЕС-К на спутнике КОРОНАС-И. //Письма в астрономический журнал, 1996, т.22, в.8, с. 604−619.
  • F.Bijkerk, L. A. Shmaenok, E. Louis, H. J. Voorma, N. B. Koster, C. Bruineman, R. K.F. J. Bastiaensen, E. W.J.M. van der Drift, J. Romijn, L. E.M. de Groot, B. A. C. Rousseeuw, T. Zijlstra, Yu. Ya.Platonov, and N. N. Salashchenko. Extreme UV lithography, a new laser plasma target concept and fabrication of multilayer reflection masks. //Microelectron. Engineering, 30 (1996) 183−186.
  • Yu. Bluakhman, N. I. Polushkin, A. D. Akhsakhalyan, S. A. Gusev, N. N. Salashchenko, V. G. Semenov. Magnetic ordering inclustered Fe-based materials synthesized from laser plasma. //J. Appl. Phys., 79 (1996), 4625.
  • L.A.Shmaenok, Yu. Ya.Platonov, N. N. Salashchenko, A. A. Sorokin, D. M. Simanovsky, A. V. Golubev, V. P. Belik, S. V. Bobashev, F. Bijkerk, E. Louis, F. G. Meijer, B. Etlisher, A. Ya.Grudsky, Multilayer EUV/X-ray polichromator for plasma diagnostics. // J. Electron Spectroscopy and Related Phenomena, v. 80, 259−262, 1996.
  • A.A.Gorbunov, W. Pompe, A. Sewing, S. V. Gaponov, A. D. Akhsakhalyan, I. G. Zabrodin, I. A. Kaskov, E. B. Kluenkov, A. P. Morozov, N. N. Salashchenko, R. Dietsch, H. Mai, S. Vollmar. Ultrathin film deposition by pulsed laser ablation using crossed beams. //Applied Surface Science, (1996) 649−655.
  • N.N. Salashchenko, E. A. Shamov. Short — period X — ray multilayers based on Cr/Sc. //Optics communication, 134, N 1−6, p.7−10 (1997).
  • А.В. Андреев, Ю. В. Пономарев, И. Р. Прудников, Н. Н. Салащенко. Резонансное усиление диффузного рассеяния рентгеновских лучей в гетероструктуре волноводного типа. //Письма в ЖЭТФ, 66, 1997, вып. 4, с. 219−223.
  • S.I. Zheludeva, M. V. Kovalchuk, N. N. Novikova, A. N. Sosphenov, N. N. Salashchenko, E. A. Shamov, K. A. Prokhorov, E. Burattini, G. Cappuccio. X-ray standing waves in x-ray specular reflection and fluorescence study of nano-films. //J. Appl. Crystal. 30 (1997) p. 833−838.
  • F. Schafers, H.-Ch. Mertins, I. Packe, F. Schmolla, N. N. Salashchenko, E. A. Shamov. Cr/Sc — Multilayers for the Water Window, //Applied Optics, 37, 719−728 (1998).
  • N.I. Polushkin, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, V. G. Semenov. Amorphus magnetic films for broadband g-filters of synchrotron radiation. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A. 405, 297−300 (1998).
  • N.N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, E. A. Shamov. Short-period X-ray multilayers based on Cr/Sc, W/Sc. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A 405, 292−296 (1998).
  • A.V.Andreev, Yu. V.Ponomarev, I. R. Prudnikov, N. N. Salashchenko. X-ray diffuse scattering multilayer wevequide structures. // Phys. Rev.B, 57, N20, p.13113−13117, 1998
  • M.A. Andreeva, S. M. Irkaev, V. G. Semenov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, A. I. Chumakov, R. Ruffer. Mossbauer reflectometry of ultrathin film Zr (10 nm) / [57Fe/Cr (3.3 nm)´26] / Cr (50 nm) using synchrotron radiation. //J. of Alloys and Compaunds 286 (1999) 322−332.
  • Н.Н.Салащенко. Исследования в области многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН. //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. N1, 1999, с. 50−60.
  • S.S.Andreev, H.-Ch.Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schaefers, E. A. Shamov, L. A. Shmaenok. Multilayer dispersion optics for x-ray radiation.// Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. 2000, A448, 133−141.
  • S.A.Bulgakova, A. Ya.Lopatin, V. I. Luchin, L. M. Mazanova, S. A. Molodnjakov, N. N. Salashchenko PMMA-based resists for a spectral range near 13 nm // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. 2000, A448, 487−492.
  • L.A.Shmaenok, S. V. Golovkin, V. N. Govorun, A. V. Ekimov, N. N. Salashchenko, V. V. Pickalov, V. P. Belik, F. C.Schüller, A. J.H.Donné, A. A. M. Oomens, K. A. Prokhorov, S. S. Andreev, A. A. Sorokin, B. G. Podlaskin, L. V. Khasanov. Novel Instrumentation for Spectrally Resolved Soft X-Ray Plasma Tomography: Development and Pilot Results on TEXTOR. // Review of Scientific Instruments, Vol. 72, No. 2, 1411−1415, 2001.
  • F.Shaefers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch.Mertins, N. N.Salashchenko. Cr/Sc nanolayers for the water window: improved performance. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A467−8, 349−353 (2001)
  • Zheng M., M. Yu, Y. Liu, R. Skomski, S. H. Liou, D. J. Sellmyer, V. N. Petryakov, Yu. K. Verevkin, N. I. Polushkin, and N. N. Salashchenko Magnetic nanodot arrays produced by direct laser interference lithography // Appl. Phys. Lett. v.79, № 16, p. 2606−2608, 2001.
  • Алексеев А. М., Веревкин Ю. К., Востоков Н. В., Петряков В. Н., Полушкин Н. И., Попков А. Ф., Салащенко Н. Н. Наблюдение лазерно-индуцированных локальных модификаций магнитного порядка в слоях переходных металлов // Письма в ЖЭТФ, т.73, вып.4, с. 214−219, 2001
  • M.A.Andreeva, V. G. Semenov, L. Häggeström, B. Lindgren, B. Kalska, A. I. Chumakov, O. Leupold, R. Rüffer, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko. Interfaceselectiveinvestigationof57Fe/Crmultilayerbynuclear-resonanseBraggreflectivityontimescale. // The Physics of Metals and Metallography, Vol. 91, Suppl.1, p. 522−527.
  • С.Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко. Многослойные дисперсионные элементы на основе B4C для спектральной области 6.7−8 нм. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2002, № 1, 32−36.
  • S.S.Andreev, S. V. Gaponov, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, N. I. Polushkin, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, M. H. Haidl. Mo/Si Multilayers for 13 nm Spectral Region. // Thin Solid Films. 2002, 415/1−2, 123−132.
  • S.S. Andreev, A. D. Akhsakhalyan, M. A. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. V. Gaponov, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, S. Yu.Zuev. MultilayeropticsforXUVspectralregion: technologyfabricationandapplications. Centr. Europ. Journ. of Phys. 2003. № 1, p.191−209.
  • S.S. Andreev, M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, E. B. Kluenkov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, M. V. Zorina, F. Schafers and L. A. Shmaenok. Short — period multilayer X — ray mirrors. // Journal of Synchrotron Radiation. V. 10, Part 5, (2003) 358−360.
  • S.S. Andreev, M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, T. Hirono, H. Kimura, E. B. Kluenkov, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin. Transmission type phase retarders based on free standing Cr/Sc multilayers // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A. 2005. V. 543, 340−345.
  • M.S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, A. A. Fraerman, A. E. Pestov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, Yu. A. Vainer. Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A. 2005. V. 543, 333−339.
  • A.A. Akhsakhalyan, A. D. Akhsakhalyan, A. I. Kharitonov, E. B. Kluenkov, V. A. Murav’ev, N. N. Salashchenko. Multilayer mirror systems to form hard X-ray beams. // Central European Journal of Physics 3 (2) 2005 163−177.
  • H. Kimura, T. Hirono, Y. Tamenori, Y. Saitoh, N. N. Salashchenko, and T. Ishikawa. Transmission type Sc/Cr multilayers as a quarter-wave plate for 398.6eV. // J. Electr. Spectr. 144−147 (2005) 1079.
  • Andreev S. S., Bibishkin M. S., Chkhalo N. I., Lopatin A. Ya., Luchin V. I., Pestov A. E., Prokhorov K. A., Salashchenko N. N. Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 543, (2005), р. 340−345.
  • V.E. Banine, J. H. J. Moors, L. A. Sjmaenok, N. N. Salashchenko. Multi-layer spectral purity filter lithography apparatus including such a spectral purity filter and device manufacturing method, and device manufactured thereby. Date of filing 22.03.06. Priority US/29.03.05/USA 91923.
  • Ю.А. Вайнер, А. Е. Пестов, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко, А. А. Фраерман, В. В. Чернов, Н. И. Чхало. Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослой- ных структурах с ультракороткими периодами. //ЖЭТФ, т.130, № 3, с. 401−408, (2006).
  • Забродин И. Г., Закалов Б. А., Зуев С. Ю., Каськов И. А., Клюенков Е. Б., Лопатин А. Я., Салащенко Н. Н., Суслов Л. А., Пестов А. Е., Чхало Н. И. Абсолютно калиброванный измеритель ЭУФ мощности для аттестации источников излучения на 13,5 нм. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. № 6. 2007. С. 104−107.
  • Климов А. Ю., Клюенков Е. Б., Мизинов А. Л., Полковников В. Н., Салащенко Н. Н., Чхало Н. И. Экспериментальные исследования возможностей интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля формы оптических элементов. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. № 6. 2007. С. 99−103.
  • Вайнер Ю. А., Клюенков Е. Б., Пестов А. Е., Прохоров К. А., Салащенко Н. Н., Фраерман А. А., Чернов В. В., Чхало Н. И. Многослойные рентгеновские зеркала на основе W/B4C с ультракороткими (d = 0.7 — 1.5 нм) периодами. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2007, N1, 10−16.
  • К.Н.Кошелев, В. Е. Банин, Н. Н. Салащенко. Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии. // УФН, 2007, т. 177, в.7, с. 777−780.
  • Н.Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Коротковолновая проекционная литография. // Вестник Российской Академии Наук. Том 78. № 5. 2008. С.13−20.
  • N.I. Chkhalo, A. Yu. Klimov, V. V. Rogov, N. N. Salashchenko, and M. N. Toropov. A source of a reference spherical wave based on a single mode optical fiber with a narrowed exit aperture. // Rev. Sci. Instrum. V.79, Issue 3. 2008.
  • А.В. Водопьянов, С. В. Голубев, Д. А. Мансфельд, А. Г. Николаев, К. П. Савкин, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Г. Ю. Юшков. Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда.// Письма в ЖЭТФ, 2008, т. 88, в. 2, с. 103−106.
  • Е.Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Д. Г. Раскин, М. Н. Торопов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью. // Российские нанотехнологии, т. 3, № 9 -10, 116−124 (2008).
  • Ю.Э. Бороздин, Е. Д. Казаков, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, В. В. Чернов, Н. И. Чхало, А. П. Шевелько, О. Ф. Якушев.Рентгеновская и ВУФ спектроскопия плазмы с использованием новых фокусирующих многослойных структур. // Письма в ЖЭТФ, 87, в.1, 33−35 (2008).
  • S.S. Andreev, M. M. Barysheva, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, Y. A. Vainer, S. Y. Zuev. Multilayered structures based on La/B4C (B9C) for projection XUV-lithography at wavelength of 6.7 nm. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. V..603. Issues 1−2. 2009. P. 80−82.
  • N.I. Chkhalo, E. B. Kluenkov, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov. Manufacturing of XEUV mirrors with sub-nanometer surface shape accuracy. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. V..603. 2009. Issues 1−2. 2009. P. 62−65.
  • С.С. Андреев, М. М. Барышева, Н. И. Чхало, С. А. Гусев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Д. Н. Рогачев, Н. Н. Салащенко, Ю. А. Вайнер, С. Ю. Зуев. Многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B4C и La/B9C. // ЖТФ, 2010, Vol. 80, No. 8, с. 93−100.
  • N.I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N., Salashchenko and M. N. Toropov (2010). Manufacturing and Investigating Objective Lens for Ultrahigh Resolution Lithography Facilities, Lithography, Michael Wang (Ed.), ISBN: 978−953−307−064−3, pp. 656, (p. 71−114) INTECH, Available from: http://sciyo.com/articles/ show/title/manufacturing-and-investigating-objective-lens-for-ultrahigh-resolution-lithography-facilities
  • M.M. Barysheva, B. A. Gribkov Yu. A. Vainer, M. V. Zorina, A. E. Pestov, Yu. Ya. Platonov, D. N. Rogachev, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo. Problem of roughness detection for supersmooth surfaces. // Proc. of SPIE. V. 8076. Р. 80760M-1−10. 2011.
  • N.I. Chkhalo, M. N. Drozdov, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, B. A. Volodin. Freestanding multilayer films for application as phase retarders and spectral purity filters in the soft X-ray and EUV ranges. // Proc. of SPIE. V. 8076. Р. 80760O-1−11. 2011.
  • N.I. Chkhalo, M. M. Barysheva, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov. Manufacturing and characterization the diffraction quality normal incidence optics for the XEUV range. // Proc. of SPIE. V. 8076. Р. 80760P-1−13. 2011.
  • С.Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Л. А. Суслов, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики. // Известия РАН. Серия физическая. 2011, том 75, № 1, с. 57−60
  • М.М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов. // УФН, 2012, т. 182, № 7 с. 727−747.
  • N.I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Shmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin. Free-standing spectral purity filters for EUV lithography. // Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 11 (2), 021115−1-7. 2012.
  • N.I. Chkhalo, S. V. Golubev, D. A. Mansfeld, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok and A. V. Vodopyanov. Source for EUVL based on plasma sustained by millimeter-wave Gyrotron radiation. // Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. 11 (2), 021123 (1−7).2012.
  • N.I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, S. D. Starikov. High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography // Appl. Phys. Lett. 2013. V.1020. P.011602.
  • N. I. Chkhalo and N. N. Salashchenko. Next generation nanolithography based on Ru/Be and Rh/Sr multilayer optics. // AIP ADVANCES Vol.3, Issue 8, 082130 (1−9) (2013)
  • M.M.Barysheva, N. I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, M. V. Zorina. Mirrors with a Sub-Nanometer Surface Shape Accuracy./ // Fundamentals of Picoscience/ Klaus D. Sattler (Ed.) — Taylor & Francis Group, 2013. —  Рр. 595−615. CRC Press 2013. Print ISBN: 978−1-4665−0509−4. eBook ISBN: 978−1-4665−0510−0

Контактная информация

Тел. (831) 460−76−92 +124

E-mail: salashch@ipmras.ru

© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия