РусскийEnglish
ИФМ РАН / Об институте / Юбилей 25 лет / Рентгеновские зеркала

Многослойные зеркала рентгеновского диапазона и устройства на их основе

Создан научный центр «многослойной рентгеновской оптики» мирового уровня, в котором естественно сочетаются современные технологические методы изготовления, диагностики и метрологии характеристик элементов многослойной оптики, в том числе дифракционного качества, и оптических систем на их основе…
подробнее >>>
Развиты технологии нанесения и методы диагностики многослойных структур для элементов многослойной оптики коротковолнового спектрального диапазона, λ=0.05−100 нм, включая оптику нормального падения (λ=2−100 нм), в том числе изображающую дифракционного качества.
подробнее >>>
Создана лабораторная технология изготовления свободновисящих многослойных пленок (фильтры, защитные пленки, аноды микрофокусных рентгеновских трубок) для EUV литографии и рентгеновской астрономии…
подробнее >>>
Для изготовления оптических систем дифракционного качества для коротковолнового (мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового) диапазона развиты методы бездеформационного монтажа элементов изображающей оптики дифракционного качества…
подробнее >>>
Создан контактный рентгеновский микроскоп, обеспечивающий нанометровое пространственное разрешение при регистрации изображений на фоторезисте и субмикронное — при цифровой регистрации…
подробнее >>>
Развиты технологии изготовления и методы аттестации многослойных формирователей жесткого рентгеновского излучения, включая фокусирующие (эллиптические) и коллимирующие (параболические) цилиндрические зеркала…
подробнее >>>

© 2000—2018, ИФМ РАН.
E-mail: director@ipmras.ru

Фактический адрес: ул. Академическая, д. 7, д. Афонино, Нижегородская обл., Кстовский район, 603087, Россия
Схема проезда, Документ WordТелефоны сотрудников (240 Kбайт)

Tелефон: (831) 417–94–73,
Факс: (831) 417–94–64,
Адрес для писем: ГСП-105, Нижний Новгород, 603950, Россия