Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Многослойные зеркала на основе бериллия для ЭУФ диапазона (λ=11.1−30.4 нм)
Развита технология напыления многослойных зеркал на основе бериллия для диапазона длин волн 11.1−30.4 нм, обеспечивающая коэффициенты отражения, существенно превышающие мировой уровень. В составе оптических систем новые зеркала позволят повысить эффективность нанолитографов следующего поколения, увеличить контраст изображений телескопов для изучения короны Солнца в ЭУФ диапазоне в 1.2−2 раза, в зависимости от конкретной длины волны.
Авторы
А.Г. Фефелов — НПП «Салют"
Ю.А. Вайнер, С. Ю. Зуев, А. А. Нечай, Д. Е. Парьев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Л. А. Суслов, Н. И. Чхало — ИФМ РАН
А.Г. Фефелов — НПП «Салют"
Ю.А. Вайнер, С. Ю. Зуев, А. А. Нечай, Д. Е. Парьев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Л. А. Суслов, Н. И. Чхало — ИФМ РАН
