В статье наши коллеги рассказали про новую концепцию развития высокопроизводительной рентгеновской литографии в России.
Она позволит создать в стране собственные нанолитографические установки для производства микрочипов по современным мировым технологическим нормам.
Подробнее читайте в журнале "Поиск-НН"